石英管深加工中的石英纯度是的重要目标，对理化性能和使用性能影响甚大，如失透性、高温强度、软化点、光的传导、热稳定性、化学稳定性、耐辐射性、荧光特性等；此外，用于半导体工业的石英玻璃，对纯度的要求更为苛刻，微量的杂质将给半导体资料的电性能和寿数以及集成度带来严峻的影响。

    因为半导体资料的纯度要求控制在ppb数量级以下，因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以习惯半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,最难除掉，是最有害的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿数，是单晶资料产生微缺陷的有害杂质。接连作业8小时应停机清洗1小时，如使用旧板或吸浆效果差，可适度加强清洗。

    石英玻璃的光谱特性曲线电熔石英玻璃是很好的透红外资料，但因为杂质的存在，紫外透过率低。氢氧焰熔制水晶所取得的石英玻璃，因为氧结构缺陷，在0.24μ处有吸收峰，一起含有OH基团，所以红外透过极低。

    用组成质料气炼的高纯光学石英玻璃是最好的透紫外资料，但在2.7μ处有严峻的OH吸收峰。只有用组成质料通过电熔或无氢火焰熔融而成的光学石英玻璃，才能很好地透过从远紫外到近红外的接连光谱。

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